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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力评估报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、行业现状与发展趋势分析 3
1、全球及中国电子特种气体市场概况 3
年全球电子特种气体市场规模与结构 3
中国电子特种气体市场发展阶段与特征 3
2、电子特种气体纯化技术发展现状 5
国际主流纯化技术路线与成熟度 5
中国现有纯化技术水平与产业化程度 6
二、关键技术突破路径与研发进展 8
1、高纯度气体纯化核心工艺分析 8
低温精馏、吸附分离与膜分离技术对比 8
痕量杂质检测与控制关键技术 9
2、国产化技
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