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2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力分析.docx

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    2025至2030中国电子特种气体纯化技术突破与本土供应能力分析

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特种气体纯化技术发展现状与行业基础 3

    1、电子特种气体在半导体制造中的关键作用 3

    高纯度气体在芯片制程中的应用场景 3

    纯度等级与工艺节点的匹配关系 4

    2、国内电子特种气体纯化技术整体水平评估 6

    主流纯化技术路线及成熟度分析 6

    与国际先进水平的差距对比 7

    二、核心技术突破路径与关键瓶颈分析 9

    1、高纯度纯化技术攻关重点方向 9

    低温精馏、吸附分离与膜分离技术融合创新 9

    痕量杂质在线检测与控制技术

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