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硅片参考面检测主讲教师：张东
目录CONTENTS01.查询国家检测标准02.检测原理及方案03.检测组织实施04.检测结果分析05.课堂总结
查询国家标准PART01
一、查询国家标准
检测原理及方案PART02
二、检测原理及方案01.测量装置与方法描述（一）硅片参考面方位检验X射线衍射定向仪：保证入射线、衍射线、基准面（衍射面）法线和计数管窗口在同一平面内；样品夹具：样品夹具固定在X射线衍射定向仪上，包括一个具有平坦表面的真空吸盘和一个与该平面垂直的基准档板。
二、检测原理及方案02.测量步骤（一）硅片参考面方位检验仪器预热并设置2θ角。将待测硅片正面向上放入样品夹具中，使其参考面与基准档板对齐，用真空吸盘将硅片吸住。开启X射线衍射仪高压，使X射线射到待测参考面上，转动测角仪，观察衍射强度到最大值。
二、检测原理及方案02.测量步骤（一）硅片参考面方位检验读取角度仪读数，记为Ψ1。关闭X射线衍射仪高压，取下硅片，将其背面向上放入样品夹具中，使其参考面与基准档板对齐，用真空吸盘将硅片吸住。重复③，读取角度仪读数，记为Ψ2。计算角度偏离α。
二、检测原理及方案01.测量装置（二）硅片参考面长度检验光学投影仪光学投影仪包括放大倍数为20倍的光学系统、能满足硅片参考面测量移动位置的载物台、显示屏和轮廓板。轮廓板由半透明材料制成，板上有两条相互垂直的基准线交于中央，在垂直基准线的中心上、下标有刻度。测微尺，由透明材料做成。钢板尺
检测组织实施PART03
三、检测组织实施（一）测量方法①校准校准水平基准线、光学投影仪放大倍数和载物台X轴。②放置硅片将待测硅片放在载物台上，使参考面投影图像的中心部分落在显示屏中心处。
三、检测组织实施（一）测量方法③参考面投影图像调整调节载物台，将参考面从一端移到另一端，使参考面与水平基准线X轴重合或平行。如果参考面呈凸形，调节使其高点与水平基准线相切并使两端的低点与基准线等距。如果参考面呈凹形，调节使其两端的高点与水平基准线相切。
三、检测组织实施（一）测量方法调节X轴测微计，使参考面投影图像左端与两基准线交点重合，记下测微计读数L1，再调节X轴测微计，使参考面投影图像右端与两基准线交点重合，记下测微计读数L2。如果是参考面两端边缘不清晰的倒角硅片，使用偏移法确定其端点位置，一般选取偏移量100μ即可。⑤计算硅片参考面长度④测量
检测结果分析PART04
四、检测结果分析撰写检测报告书
课堂总结PART05
小结SUMMARY01硅片参考面方位检测；02硅片参考面长度检测；最后，我们来回顾一下本小节的内容：
思考THINKING课后，请同学试着回答一下以下思考题：01硅片主副参考面方位检测原理是什么？02硅片参考面长度检测原理是什么？
谢谢观看THANKS
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