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半导体金属有机源合成纯化项目可行性研究报告模板范文
一、半导体金属有机源合成纯化项目可行性研究报告
1.1项目背景
1.1.1半导体金属有机源在半导体制造中的应用
1.1.2我国半导体产业的发展现状
1.2项目意义
1.2.1提高我国半导体产业的核心竞争力
1.2.2促进我国半导体产业的可持续发展
1.2.3培养高素质人才
1.3项目目标
1.3.1研发高性能、低成本的MOS材料
1.3.2优化MOS材料的合成与纯化工艺
1.3.3推动我国半导体产业的技术创新
1.4项目实施计划
1.4.1项目前期调研
1.4.2技术攻关与研发
1.4.3中试与产业化
1.4.4
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