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磁控溅射法制备氧化锌薄膜：工艺、结构与性能的深度剖析.docx

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    磁控溅射法制备氧化锌薄膜：工艺、结构与性能的深度剖析

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    氧化锌（ZnO）薄膜作为一种重要的功能材料，在现代材料科学与技术领域中占据着举足轻重的地位。ZnO是一种宽禁带半导体材料，其晶体为六方纤锌矿结构，常温禁带宽度约为3.37eV，激子结合能高达60meV。这些优异的特性赋予了氧化锌薄膜在众多领域的应用潜力。

    在光电领域，由于其宽禁带和高激子结合能，氧化锌薄膜可用于制造紫外发光二极管（LED）和紫外探测器。基于氧化锌的紫外LED能够发出高强度的紫外光，在医疗、消毒等领域具有重要应用前景；而在紫外探测器中，它能对紫外光进行灵敏检测。同时，氧化锌薄膜是一

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