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子工业专用设备
先进封装技术与设备EquipmentforElectronicProductsManufacturing
基于S形速度曲线的键合头运动
控制系统研究与分析
高岳
(中国电子科技集团公司第四十五研究所袁北京100176)
摘要根据用户工艺需求针对全自动芯片键合设备的运动控制模块以及键合头子模块开展需
求分析结合典型试验设计出基于S形速度曲线的键合头运动控制系统根据S形速度曲线重
新规划了键合头的运动轨迹使其对芯片键合周期缩短的同时也保证了键合精度遥
关键词运动控制模块曰键合头曰S形速度曲线
中图分类号TN305文献标志码B文章编号1004-4507(2024)02-0052-06
ResearchandAnalysisofBondingHeadMotionControl
BasedonS-shapedSpeedCurve
GAOYue
(The45thResearchInstituteofCETC，Beijing100176，China)
Abstract:Accordingtoprocessrequirementofusers，theworkingprincipleofmotioncontrolmodule
andthesub-moduleofbondingheadoffull-automaticchipbondingequipmentareanalyzed，the
motioncontrolsystembasedonS-shapedvelocitycurveisdesigned，andthemotionpathofbonding
headisredesignedaccordingtothes-shapedvelocitycurve，andshorteningthechipbondingcycle
whileensuringitsbondingaccuracy.
Keywords:Motioncontrolmodule；Bondinghead；S-shapedspeedcurve
运动控制模块是全自动芯片键合设备中最为1运动控制模块软件设计
重要的模块之一，是设备高效、准确地拾放芯片的
关键所在。本文通过对全自动芯片键合设备的运1.1运动控制模块工作原理
动控制模块工作原理以及键合头子模块需求分运动控制模块是全自动芯片键合设备实体的基
析，设计出基于S形速度曲线的键合头运动控制础，在设备运行过程中每一个动作、每一项功能都是
系统。由电机驱动机械装置来完成。在控制系统发出电信
稿日期2023-12-18
52总第305期）Apr2024
子工业专用设备
EquipmentforElectronicProductsManufacturing先进封装技术与设备
号后由电机执行控制。运动控制模块由机械装置、电的运动轨迹，完成一次芯片键合运动。
机和控制器组成，是整个控制系统的执行机构。运动
运控逻辑运空接口
控制模块的控制精度对设备的整体键合精度起决定
性作用。因此，运动控制模块的设计非常重要。
初级会计持证人
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