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半导体与集成电路行业智能制造技术应用与发展趋势报告.docx

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    半导体与集成电路行业智能制造技术应用与发展趋势报告范文参考

    一、半导体与集成电路行业智能制造技术应用与发展趋势报告

    1.1.行业背景

    1.2.智能制造技术在半导体与集成电路行业中的应用

    1.2.1自动化生产

    1.2.2数据采集与分析

    1.2.3智能设备维护

    1.2.4虚拟仿真

    1.3.智能制造技术在半导体与集成电路行业的发展趋势

    1.3.1人工智能与机器学习

    1.3.2物联网

    1.3.35G通信

    1.3.4绿色制造

    二、半导体与集成电路行业智能制造技术应用案例分析

    2.1.晶圆制造过程中的智能制造应用

    2.1.1自

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