CLEANROOM介绍专题知识讲座.pptxVIP

CleanRoom介紹;一、何謂無塵室cleanroom?

一個房間或工作區域其內部空氣之落塵(Particle)用人為之控制使其數量在一定數目中稱為無塵室

二、cleanroom之等級

無塵室等級區分依美國聯邦U.S.FederalStander209E，針對落塵量分為六個等級

廠內cleanroom作業區依製程需求可分三類：

A類：無塵等級為十萬級環境不控制

如鉚釘室、P.P倉、銅皮倉、印刷、綠漆曝光室

B類：無塵等級一萬級

如內外層曝光室、疊板室、網版製版、乾膜倉

C類：無塵等級一千級，如繪圖區、暗房

;;;三、Cleanroom之設計

須考慮cleanroom之等級、溫濕度之控制、生產項目和使用設備分析與規劃、建築結構與位置、防火、耐震、管路之考量、監控系統之維持等

1.airflow系統

1-1.分亂流系統(turbulentairflow)及垂直層流系統

(verticallaminar)

1-2.空調系統設計

a.溫度控制：21?20C。

b.溼度控制：55?5%RH。

C.出口風速：0.5M/sec。

D.cleanroom吶之正壓值1mmAg以以上

e.在class1000和10,000需做末端過濾，

class100,000可做集中過濾

;;;1-3.過濾器類型：

a.前置過濾器：有初級過濾網(prefilter)，主要過濾

較大塵埃，以延長高效過濾網(HEPA)之壽命

b.高效過濾網(HEPAFILTER)：其效率可達0.3?m99.99%

以上DOP，送入cleanroom之空氣須經過此過

濾網完毕最後過濾

c.可於cleanroom中再擺設無塵操作台(cleanbench)，

可確局部清淨度

2.地板、外牆、天花板：

2-1.地板；

分兩類EPOXY地板及高架地板。

a.EPOXY地板：分底塗、中塗、面塗三道施工，須

不起塵、不滲透、耐磨、耐化學藥品。

;;b.高架地板：應用於無塵等級一千級。優點為地面佈線

以便。地面底層EPOXY，地板高架，結構採鋁合金地

磚，表面貼導電地磚或防靜電面磚。

2-2.外牆(天花板)

a.須不起塵、完全密封、轻易清潔、平滑無縫。

b.EPOXY塗膜厚1.5mm，分底塗、中塗、面塗三道施工。

2-3.隔間牆(天花板)：材料須選用不起粉塵、防火、耐

用、易清潔之材質，使用彩色烤漆鋼板內充PU發泡。

3.參觀窗：

???塵室內面加黃色壓克力板。窗框與玻璃須不洩漏。

;4.照明：

無塵室內採用黃色燈源

5.其功能有氣鎖(airlock)，人員管制，及以高速風將附著在人體或物品上之塵埃吹落帶過功能，具備自動連鎖電鎖。

6.PassBox傳遞箱：

目旳將物料傳進或傳出。其功能有氣鎖(airlock)、人員管制。設置於cleanroom之隔間牆上，連接cleanroom內外。具備連鎖(interlock)功能

7.輸送帶設計：

設置於cleanroom之隔間牆上，連接cleanroom內外。以aircurtain及過濾網過濾空氣。

;四、無塵衣選用標準設計

為何要穿無塵衣

一般無塵室最大塵埃染源54%是人體所產生。一作業員連續行走一小時(0.35km/hr)，塵埃約增长100,000個/Ft3，若穿著大衣式無塵衣可減至24%，全套連身式可減至3%

1.質料要求：

a.表面不發塵、塵粒不易附著、不滲透、纖維不易

脫落、斷裂、不生靜電、耐藥品性、耐洗及高溫

高壓、不易皺、不變形。

b.柔軟、透氣、透明度低、轻易縫製者。

2.縫製：

縫製時須考量車線之材質、縫製法。接片使用三針內外包光法或內部滾邊法，袖口褲管反下擺收邊用摺邊包光法。布邊在衣服內外皆不可外露。

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五、cleanroom之驗收

無塵室之驗收可分下列三種狀況來測試：

1.工程竣工時之無塵室：空週系統運轉，但無機械設備。

2.停止工作之靜態無塵室：空調系統運轉，設備已定位且在運轉，但無人進入。

3.作業動態中之無塵室：意即全部設備皆運轉，作業人員也入內工作之狀況。

無塵室驗收測試項目

1.詳細測試規格U.S.FederalStan