7第七章-洁净室及其控制技术.ppt

洁净室及其控制技术;什么是洁净室？;半导体工厂洁净室示意图;根据洁净的程度

一般净化，粗效过滤器。

中等净化，粗、中效过滤器。

超净净化，粗、中、高三级效过滤器。

根据洁净室的用途

工业洁净室，控制非生物微粒的污染。

生物洁净室，控制生物微粒的污染。

一般生物洁净室

隔离生物洁净室;根据气流流型

单向流

非单向流

混合流

;第2节空气洁净度标准与控制对象;三、被控制的含尘浓度的具体规定

1、何状态下的含尘浓度

动态、静态、空态

2、何范围内的含尘浓度

离地0.8~1.5m高的区域。;空气洁净度标准;表2-1?美国联邦标准（USAFederalStandard）209E（1992年）;洁净室的洁净度是如何确定的？;等级名称;各种要求粒径d的粒子最大允许浓度由公式确定。

FS209E英制单位制计算公式：

式中：N——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/ft3）

Nc——洁净度等级

d——要求的粒径（μm），其值为[0.1~5.0]。

0.5——常数，其量纲为μm。

;某洁净室用≥0.2μm粒径的粒子检验，允许浓度限制为7.5×104个/m3，相当于美国联邦标准209E国际单位制M多少级？

;表2-2?洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级

ISO14644-1、GB50073-2001;各种要求粒径D的粒子最大允许浓度Cn由公式确定。

式中：Cn——大于或等于要求粒径的粒子最大允许浓度（pc/m3）；Cn是以四舍五入至相近的整数，有效位数不超过三位。

N——洁净度等级，数字不超出9，洁净度等级整数之间的中间数可以按0.1为最小允许递增量。

D——要求的粒径（μm），其值为[0.1~5.0]。

0.1——常数，其量纲为μm。

;某洁净室用≥0.2μm粒径的粒子检验，允许浓度限制为7.5×104个/m3，相当于《洁净厂房设计规范》多少级？

;洁净度等级标准;尘埃粒子直径的示意图;在太平洋中游弋的一条鲣鱼;生物洁净室相关标准

1、美国航空航天管理局

《洁净室和洁净工作台微生物控制标准》

2、现在标准

医药工业洁净厂房空气洁净度标准GMP-97。

;洁净度级别Cleanclass;第3节洁净室的工作原理及其应用;洁净室的四原则;洁净室的洁净度是如何维持的？;HEPAFilter??效过滤器——

HighEfficiencyParticulateAirFilter;过滤器去除灰尘的效率如何呢？（举例）;灰尘又是如何产生的呢？;除了灰尘还要防止什么呢？;这些化学物质有什么危害呢？;化学物质又是如何产生的呢？;;活性炭是如何吸附化学物质的呢？;化学过滤器和FFU的HEPA/ULPA的安装关系;有了HEPA、ULPA，还要进行新风的空气净化（湿度控制）;一、原理

当一股干净气流从送风口送入室内时，迅速向四周扩散、混合。同时把差不多同样数量的气流从回风口排走，这股干净气流稀释着室内污染的空气，把原来含尘浓度很高的室内空气冲淡了，一直达到平衡。所以气流扩散的越快，越均匀，那么稀释的效果当然越好。

特点：从来流到出流之间气流的流通断面是变化的。

流态实质：非均匀流（急变流）

;二、气流组织

高效过滤器顶送（有扩散板和无扩散板）；

流线型散流器顶送；

局部孔板送风；

侧送。

;;;三、效果

根据非单向流洁净室的工作原理，它可以达到的洁净度一般为1000~10000（6-7）级，如果设计合理，部分情况下可达100（5）级。室内换气次数越大，一般来说，所得洁净度也越高。

100000级洁净室，换气次数小于20次/小时

10000级洁净室，换气次数20-60次/小时

1000级洁净室，换气次数60-150次/小时

;一、基本原理

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠掺混作用，而是靠推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，从而达到净化室内空气的目的。

二、特点

（1）全室断面上的流速比较均匀。

（2）至少在工作区内流线平行。流线平行指时均流线彼此平行。

（3）至少在工作区内没有涡流。

;单向流（层流）洁净室;;气流组织：

（1）顶棚满布高效过滤器送风，全地板格栅回风

（2）侧布高效过滤器顶棚阻尼层送风，全地板格栅回风

（3）顶棚和侧面双布高效过滤器送风，全地板格栅回风

（4）全顶棚送风，两侧下回风;2、水平单向流洁净室;混合流洁净室;《洁净厂房设计规范》规定：

1-4级应垂直单向流

5级应垂直单向流或水平单向流

6-9级宜非单