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高性能芯片制造工艺流程优化及项目管理研究
目录
一、内容综述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．5
1.1研究背景与意义．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．6
1.1.1高性能芯片发展现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．8
1.1.2工艺流程优化及项目管理的重要性．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．9
1.2国内外研究现状．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．11
1.2.1国外相关研究成果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．12
1.2.2国内相关研究成果．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．14
1.3研究内容与目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．16
1.3.1主要研究内容．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．17
1.3.2具体研究目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．20
1.4研究方法与技术路线．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．23
1.4.1研究方法选择．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．25
1.4.2技术路线设计．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．26
二、高性能芯片制造工艺流程分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．28
2.1制造工艺流程概述．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．29
2.2关键工艺步骤识别．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．31
2.2.1对性能影响较大的工艺步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．34
2.2.2对成本影响较大的工艺步骤．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．35
2.3工艺参数分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．37
2.3.1参数对性能的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．39
2.3.2参数对良率的影响．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．42
2.4工艺瓶颈问题分析．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．45
2.4.1影响效率的限制因素．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．49
2.4.2影响良率的短板问题．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．53
三、高性能芯片制造工艺流程优化．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．55
3.1优化目标与评价指标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．58
3.1.1性能优化目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．59
3.1.2良率优化目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．60
3.1.3成本优化目标．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．62
3.2工艺优化方法．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．63
3.2.1参数调优．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．66
3.2.2工艺窗口扩展．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．71
3.2.3工艺冗余消除．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．73
3.2.4新工艺引入．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．76
3.3优化案例研究．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．81
3.3.1案例选择与背景介绍．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．87
3.3.2优化方案设计与实施．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．88
3.3.3优化效果评估．．．
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