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2025至2030中国光刻胶配套试剂纯化工艺突破与晶圆厂验证进度评估报告.docx

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    2025至2030中国光刻胶配套试剂纯化工艺突破与晶圆厂验证进度评估报告

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、中国光刻胶配套试剂行业现状分析 3

    1、产业整体发展概况 3

    年前光刻胶配套试剂国产化率与供应链结构 3

    2、关键瓶颈与挑战 5

    高纯度原材料依赖进口现状及替代难度 5

    工艺控制精度与洁净度标准与国际差距 6

    二、纯化工艺技术突破路径与进展评估 8

    1、主流纯化技术路线对比 8

    蒸馏精馏膜分离耦合工艺的适用性分析 8

    超临界流体萃取与分子筛吸附技术的实验室与中试进展 9

    2、2025–2030年关键技术节点预测

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