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二次配工程规范

Lelewaswrittenin2021

中纬积体电路(宁波)新建工程

气体管线二次配工程规范

CONTENTS

1.目的

2.范围

3.文件送审

4.施工说明

5.其他说明

6.验收标准

7.保固期限

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1.目的

为使设备机台按照计划顺利装机、运转，且亦能维护HookUp二次配管施工之品质及作业安全。本规范如有任何疑虑依业主及总顾问公司解释为准。

2.范围

2.1.制程设备气体管线Hook-up工程材料采购及管路安装；Hook-up范围，GN?、PN?、PO?、CDA自主管预留阀至机台内部接点(含支管),PH?、SiH?、SiH?/N?由气体站氢气纯化器出口及SiH?、

SiH?/N?气瓶柜出口接至机台(含VMB),其他特殊气体自位於气体房或Subfab之气瓶柜/架至机台内部接点(含VMB/VMP),其中必要的管线、管件及焊接所需气体，均由承包商负责提供。GN?、PN?、PO?各支管位置及预留take-off阀尺寸及数量，请参照”FAB栋一层大宗气体二次配平面图”(图号SP-211);各VMB/VMP位置，请参照”FAB栋一层特殊气体二次配平面图”(图号SP-212);气体站至FAB间气体管线，请参照”气体站至FAB栋气体二次配管线平面图”(图号SP-234);GN?、PN?、PO?、CDA

自take-off阀至机台间所需装设之阀件，请参照”SP-2二次配管详图”(图号SP-231);而take-off阀及VMB/VMP与机台衔接点等相关资料，请参照附件一”Bulkgastake-offlist”、附件二”SpecialtygasVMB/VMPlist”及附件三”CDAtake-offlist”。承包商需根据该表资料，设计至机台管线之路径。

2.2.前项气体管线Hook-up工程之管路细部设计、施工图绘制、ISO图绘制(Auto2000或以上版本图档予顾问及业主)、安装後泄漏侦测、各项不纯物量测、讯号测试、材料存放及废料清洁等杂项工程。其中施工图及ISO图面，需依照机台用量流程图(PID)及机台设备外观图绘制，并配合材料明细表供业主确认。

2.3.本项工程为连工带料施工，并包含施工中所需之施工工具、施工设备、无尘服、安全防护器具、管支撑及杂项消耗等，均由承包商负责。

2.4.配合”二次配工程说明”(规范标号NS-SP001)要求所需各项杂项费用。

2.5.所有管路标示，管路标示依照”二次配工程说明”办理。

2.6.所有管路防震固定支撑架之安装定位。

2.7.高架地板开孔及收边之工程发包、请款，切割区域管理。

2.8.气体站至FAB间管线所需管桥由业主提供，承包商需负责依业主

指示规划气体管线路径，并负责安装所需管夹等固定装置。

3.文件送审

文件名称

投标阶

段

(3份)

设计阶段(5份)

竣工阶

段

(5份)

1.

报价表(Quotationform)

X

2.

专案组织表(Projectorganization)

X

X

3.

专案执行时程表(Projectschedule)

X

X

4.

工程界面清单及位置图(Listlocationoftie-inpoint)

X

X

X

5.

系统管仪图(PIDs)

X

X

X

6.

焊接设备清单(Equipmentlist)

X

X

X

7.

设备及材料型录及资料

(Vendorscatalogsand

informationtosupporthis

quotation,including

electricalsystemI/Csystem)

X

X

X

8.

仪表安装详图(Instrumentinstallationdrawing)

X

X

9.

送审文件清单及时程(Transmittallistandschedule)

X

10.

品质管制程序书(Qualitycontrolprocedure)

X

11.

工地办公室及物料暂存区需求(Siteofficeandwarehouserequirements)

X

12.

验收及测试计划/报告