《光学镜片亚表面缺陷在线检测 光学相干法》.docxVIP

ICS17.180CCSN35

福建省计量测试学会团体标准

T/XXXXXXX—XXXX

光学镜片亚表面缺陷检测光学相干法

DetectionofSubsurfaceDefectsinOpticalLenses-OpticalCoherenceMethod

(征求意见稿)

XXX

X

X-X

X-X

X发布

XXXX-XX-XX

实

实施

福建省计量测试学会发布

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目次

前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4检测原理 2

4.1光学相干层析法 2

4.2检测方法分类 2

5检测条件 3

5.1检测环境 3

5.2被测样品 3

6测量设备 3

7检测步骤 3

7.1测量前准备 3

7.2群折射率值预输入 3

7.3样品测量 4

7.4测量要求 4

7.5结果有效性判定 4

8测量数据处理 4

8.1干涉信号处理 5

8.2图像阈值分割 5

8.3图像形态学处理 5

8.4亚表面缺陷体积计算 6

8.5亚表面缺陷横向面积计算 6

8.6亚表面缺陷深度尺寸计算 6

8.7亚表面缺陷深度位置计算 7

9测量报告 7

附录A(资料性)光学玻璃材料群折射率换算 8

工

II

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前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由福州大学提出。

本文件由福建省计量测试学会归口。

本文件起草单位：福州大学、福建福光股份有限公司、厦门市计量检定测试院。

本文件主要起草人：钟舜聪、张秋坤、梁伟、何文波、肖维军、沈在钦。

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1

光学镜片亚表面缺陷检测光学相干法

1范围

本文件规定了采用光学相干法检测光学镜片亚表面缺陷的检测原理、检测装置、检测记录及检测报告。

本文件适用于用光学相干法进行光学镜片的亚表面缺陷检测。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本

文件。

GB/T13962

光学仪器术语

GB/T44926

纳米技术微区表面及亚表面表征光学暗场共焦显微法

GB/T44078

光电系统中光学中心间距的测定低相干干涉测量法

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

光学镜片opticallens

指用于制作各种光学仪器或用作光学系统元件的透镜或反射镜。

3.2

亚表面subsurface

固体材料表面以下数百纳米至数百微米范围内具有光学透明度的区域。

[来源：GB/T44926-2024,3.1]

3.3

亚表面缺陷subsurfacedefect

透镜表面及表面以下数百纳米至数百微米范围内的微小裂纹、气泡、夹杂物或不规则结构。3.4

低相干lowcoherence

光的相干长度短。

[来源：GB/T44078-2024,3.3]

3.5

干涉interference

两束或两束以上的光波在重叠区相互加强和减弱的现象。

[来源：GB/T13962-2009,4.8]

3.6

样品光路samplelightpath

低相干测量时，发生干涉的两束光波所在光路中，包含被测样品的光路。

3.7

参考光路referencelightpath

低相干测量时，发生干涉的两束光波所在光路中，不包含被测样品的光路。

3.8

光程opticalpath

光在介质中传播的几何光路与该介质的折射率之乘积。

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2

[来源：GB/T13962-2009,2.39]

3.9

折射率refractiveindex

光线在真空中的相速度与光在介质中的相速度之比。

[来源：GB/T13962-2009,3.115]

3.10

群折射率group