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实施指南(2025)《GB_T17473.3-2008微电子技术用贵金属浆料测试方法方阻测定》.pptx

实施指南(2025)《GB_T17473.3-2008微电子技术用贵金属浆料测试方法方阻测定》.pptx

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    ;目录;;;当前微电子行业对贵金属浆料方阻测试的需求与该标准的匹配度;;;;;;;;;;;;不同原理（如二探针法）与标准规定方法的对比及标准选择四探针法的原因;;;先用乙醇清洗样品表面油污，再在80℃烘箱干燥30分钟，必要时在300℃退火1小时。严格按规范处理，去除样品表面杂质和应力，保证测试准确性。;测试仪器（四探针测试仪、万用表等）的校准方法及校准周期要求;;;;;;;;样品放置环节的关键要求（如定位精度、与探针接触状态）及控制方法;;电压测量环节的操作规范（如测量时机、数据读取）及易出错点;2;;;有效结果的记录方式及标准中对记录内容（如样品信息、测试参数）的要求;;STE

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