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反射电子能量损失能谱学中Monte Carlo方法的原理、应用及展望.docx

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    反射电子能量损失能谱学中MonteCarlo方法的原理、应用及展望

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    在材料科学、物理学等众多前沿研究领域，对材料微观结构和电子特性的深入探究始终是核心任务。反射电子能量损失能谱学（ReflectionElectronEnergyLossSpectroscopy，REELS）作为一种强大的表面分析技术，凭借其高分辨率、高灵敏度以及非破坏性等显著优势，已然成为剖析材料表面化学组成与电子能级结构的关键手段。在REELS实验进程中，当具有特定能量的电子束与样品表面发生相互作用时，电子束会因与样品原子的碰撞而失去部分能量，通过精确测量反射电子的能量损失分布

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