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半导体设备国产化2025年技术创新与产业化路径研究报告.docx

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    半导体设备国产化2025年技术创新与产业化路径研究报告范文参考

    一、半导体设备国产化2025年技术创新与产业化路径研究报告

    1.1技术创新背景

    1.1.1政策环境

    1.1.2市场需求

    1.2技术创新方向

    1.2.1提升关键设备性能

    1.2.2拓展新型设备研发

    1.2.3强化设备可靠性

    1.3产业化路径

    1.3.1加强产业链协同

    1.3.2培育本土品牌

    1.3.3拓展国际市场

    1.3.4加强人才培养

    二、半导体设备国产化关键技术与创新

    2.1关键设备技术创新

    2.1.1光刻机技术

    2.1.2刻蚀机技术

    2.1.3离子注入机技术

    2.2新型半导体设备研发

    2.2.

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