聚焦2025年:半导体光刻光源技术创新助力芯片产业转型升级.docx

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一、聚焦2025年:半导体光刻光源技术创新助力芯片产业转型升级

1.1技术背景

1.1.1近年来,随着5G、人工智能、物联网等新兴技术的快速发展,对芯片性能的要求越来越高。然而,传统的光刻技术已经难以满足高端芯片制造的需求。因此,寻找新型光刻光源技术成为行业发展的关键。

1.1.2光刻光源技术是光刻机的心脏,其性能直接决定着光刻机的精度和效率。目前,半导体光刻技术主要依赖于极紫外光(EUV)光源。然而,EUV光源存在成本高、设备复杂等问题。因此,寻找新型光刻光源技术成为行业发展的关键。

1.1.3新型光刻光源技术的研究与开

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