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基于表面应力的MEMS生物传感器：原理、应用与挑战的深度剖析.docx

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    基于表面应力的MEMS生物传感器：原理、应用与挑战的深度剖析

    一、引言

    1.1研究背景与意义

    随着科技的飞速发展，生物传感器在众多领域的应用愈发广泛。生物传感器作为一种能够将生物识别元件与物理或化学换能器相结合，用于检测生物分子的设备，在医疗诊断、环境监测、食品安全等领域都发挥着不可或缺的作用。而微电子机械系统（MEMS）技术的出现，为生物传感器的发展注入了新的活力。

    MEMS技术是一种用于制造微型机械和电子设备的工艺，利用该技术制造的MEMS生物传感器，将生物敏感元件与微型换能器集成在一起，具有微型化、高灵敏度和高集成度等显著优点。在生物医学领域，MEMS生物传感器能够实现对疾病

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