硅片生产工艺技术流程.pdfVIP

顺大半导体进展有限公司太阳能用

硅单晶片生产技术

目录

一、硅片生产工艺中利用的主要原辅材料

一、拉制单晶用的原辅材料，设备和部件：

二、供硅片生产用的原辅材料，设备和部件：

二、硅片生产工艺技术

一、硅单晶生产部

(1)、侵蚀清洗工序生产工艺技术

对处置后原材料质量要求

(2)、侵蚀清洗生产工艺流程

①多晶硅块料，复拉料和头，尾料处置工艺流程

②边皮料酸碱清洗处置工艺流程

③竭底料酸清洗处置工艺流程

④废片的清洗处置工艺流程

(3)、硅单晶生长工艺技术

(4)、单晶生长中的必备条件和要求

①单晶炉

②配料与搀杂

(5),单晶生长工艺参数选择

(6)、质量目标：

(7)、硅单晶生长工艺流程

二、硅片生产部

(1)、硅片加工生产工艺技术

(2)、硅片加工工艺中的必备条件和要求

①切割机

②切割浆液

(3)、质量目标

(4)、硅片加工工艺技术流程

①开方锭生产工艺流程

②切片生产工艺流程

(5)、硅片尺寸和性能参数检测

前言

江苏顺大半导体进展有限公司座落于美丽的高邮湖畔。公司始创生产

太阳能电池用各类尺寸的单晶和多晶硅片。拥有国内先进的拉制单晶设备

104台，全自动单晶炉112台。年产量可达到XXXX吨。拥有大型先进的

线切割设备XXX台。而且和无锡尚德形成了合作联盟（伙伴），每X能够

向尚德提供XXX硅单晶片。同时河北晶于2004年，占地面积XXXXo公

司此刻有XXX名员工，从事澳、南京等光伏组件公司都和顺大形成了长年

的合作关系。为了公司的进一步进展，扩大产业链，解决硅单晶的上下游产

品的供需关系，2006年在扬州投资多晶硅项目，投资规模达到XX亿。工

60002008

程分两期建设，总规模年产多晶硅吨。年末首期工程己经正式投

入批量生产,年产多晶硅XXX吨。

太阳能用硅片生产工艺十分复杂，要通过几十道工序才能完成，只有

发挥团队精神才能保证硅片的最终质量。编写该篇壮大资料的目的：第一让

大家了解整个硅片生产进程，更重要的是让各生产工序中的每一名操作人

员明确自己的职责，更自觉地按操作规程和规范做好本职工作，为顺大半导

体进展有限公司的进展,尽自己的一份力量。

一、硅片生产工艺中利用的主要原辅材料和设备

1、拉制单晶硅生产部

（1）、供单晶生产用的原辅材料质量要求和验收:

1）原料：多晶硅，边皮料，锅底料，复拉料（包括头尾料）

和废硅片料等组成。

拉直太阳能电池硅单晶用的原材料纯度，质量和决定太阳能电池的性

能和转换效率。为此，对多晶硅等原材料来源，纯度，外观形貌

和后处置工序中物料干净处置质量等因应具有严格的要求并制定岀相应的

厂内标准。

原料，专门是多晶硅进厂时应按下列程序进行验收：产品厂家，产品

分析单，包装袋有无破损。

自家公司采用西门子法生产的多晶硅，经实际应用证明，具有比较高

的纯度，质量靠得住。

边皮料，锅底料，复拉料，头尾料和废片料等均来自本单晶和硅片各

生产工序。进洗料库时，应按如下所列要求进行检查和验收。

表1对原材料质量要求

查质量要求来源

内在质量外观

多晶硅电阻率：N型去50Q.cm银灰色，表而无氮化硅顺大公司

P型：N50Q・cm膜，硅芯与晶体生长成

一体

边皮料