微机电系统（MEMS）技术 柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法.pdfVIP

国家标准征求意见资料

国家标准《微机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环

弯曲变形后电气特性测试方法》（征求意见稿）编制说明

一、工作简况

1、任务来源

本项目是根据国家标准化管理委员会关于下达2024年第七批推荐性国家标

准计划及相关标准外文版计划的通知（国标委发[2024]44号文），计划编号T-469,由全国微机电技术标准化技术委员会（SAC/TC336）（以下简

称标委会）提出并归口。负责起草单位为：无锡小天鹅电器有限公司、中机生产

力促进中心有限公司、合肥美的电冰箱有限公司等，计划完成时间2026年。

2、制定背景

本标准为制定标准，等同采用IEC62047-43:2024《半导体器件微机电器件

第43部分：柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》。

柔性微机电器件的设计与使用寿命与其在循环弯曲变形后的电气可靠性密

切相关。然而，目前尚缺乏统一的测试方法来准确评估器件在经历多次循环弯曲

后的性能退化规律。因此，制定规范柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性的

测试方法，将为器件的安全裕度评估、寿命预测及可靠性设计提供关键技术支撑，

并推动柔性电子产业的标准化与规模化应用。

3、起草过程

预研阶段：

作为IEC/TC213国内技术对口单位，中机生产力促进中心有限公司组织相

关专家长期跟踪IEC62047-43:2024国际标准动态。2024年5月，完成了该国

际标准的翻译工作，形成标准翻译稿。同时，深入高等院校和MEMS生产企业，

对标准的使用情况进行调研分析。

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起草阶段：

2024年9月29日，标准计划下达后，标委会于2024年10月23日通过发文的形

式向全社会广泛征集标准起草组成员。经过征集和初步遴选，标委会成立了《微

机电系统（MEMS）技术柔性微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》标

准起草工作组。

2024年12月26日，起草组在合肥召开了《微机电系统（MEMS）技术柔性微

机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》国家标准启动会暨工作组第一次会

议，工作组由无锡小天鹅电器有限公司担任主要起草工作，来自无锡小天鹅电器

有限公司、中机生产力促进中心有限公司、北京大学、东南大学、中国电力科学

院有限公司、中北大学、无锡华润上华科技有限公司、海信家电集团有限公司、

合肥美的电冰箱有限公司、宁波科联电子有限公司、广州自平测控科技有限公司、

成都航天凯特机电科技有限公司、长虹美菱股份有限公司、四川虹微技术有限公

司、西北工业大学、苏州大学、北京智芯微电子科技有限公司、北京晨晶电子有

限公司、上海工研院、广州天极电子科技股份有限公司、无锡物联网创新中心有

限公司的20余名专家出席了会议。会上，标委会秘书处向与会专家介绍了标准的

立项背景，并结合会议就标准的范围、规范性引用文件、术语和定义、试件、测

试方法、测试报告进行了逐条讨论，并按章节给起草组单位进行了任务分工。

2025年3月20日起草组在宁波召开了《微机电系统（MEMS）技术柔性微机电

器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》国家标准起草工作组第二次会议，会议

就第一次会议遗留待确认的问题及起草组单位分配的任务完成情况进行了逐条

讨论和认真修改。

2025529MEMS

年月日起草组在合肥召开了《微机电系统（）技术柔性

微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》国家标准起草工作组第三次会

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议，会议就第二次会议待确认的问题进行了逐条讨论和认真修改。

2025731MEMS

年月日起草组在太原召开了《微机电系统（）技术柔性

微机电器件循环弯曲变形后电气特性测试方法》国家标准起草工作组第