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年第卷第期传感器与微系统（）
２０２５４４２ＴｒａｎｓｄｕｃｅｒａｎｄＭｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ１３１
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ＤＯＩ１０．１３８７３／Ｊ．１０００９７８７２０２５０２０１３１０３
三维叉指状传感电极的光离子化传感器
李帅，郭亮，刘广孚
（中国石油大学（华东）控制科学与工程学院，山东青岛２６６４００）
摘要：针对工业领域低浓度挥发性有机化合物连续检测问题，设计了一种带有三维叉指状传感电极的
光离子化传感器。叉指状电极与传统的电极相比具有更高的表面体积比，能够更好地捕获电离产生的离
子和电子，从而进一步提升光离子化传感器的灵敏度，降低最低检测限。构建了传感器的测试与标定系
统，采用标准异丁烯气体测试该传感器的性能，实验结果表明：在相同硬件条件下，三维叉指状结构比传统
电极结构灵敏度更高，线性度和稳定性良好，为低浓度挥发性有机化合物的测量提供了可靠的解决方案。
关键词：挥发性有机化合物；光离子化传感器；三维叉指状传感电极
中图分类号：文献标识码：文章编号：—（）——
ＴＰ２１２Ａ１０００９７８７２０２５０２０１３１０３
Ｐｈｏｔｏｉｏｎｉｚａｔｉｏｎｓｅｎｓｏｒｗｉｔｈ３Ｄｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔｅｄｓｅｎｓｉｎｇｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ
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Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ａｉｍｉｎｇａｔｔｈｅｐｒｏｂｌｅｍｏｆｔｈｅｃｏｎｔｉｎｕｏｕｓｄｅｔｅｃｔｉｏｎｏｆｌｏｗｃｏｎｃｅｎｔｒａｔｉｏｎｖｏｌａｔｉｌｅｏｒｇａｎｉｃｃｏｍｐｏｕｎｄｓ
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