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二维半导体材料在逻辑芯片中的新型器件制备与性能测试.docx

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    二维半导体材料在逻辑芯片中的新型器件制备与性能测试范文参考

    一、二维半导体材料在逻辑芯片中的新型器件制备与性能测试

    1.1行业背景

    1.2新型器件制备技术

    1.2.1二维半导体材料的提取与制备

    1.2.2器件制备工艺

    1.3性能测试方法

    1.4应用前景

    1.4.1高速逻辑芯片

    1.4.2低功耗逻辑芯片

    1.4.3智能传感器

    二、二维半导体材料在逻辑芯片中的制备工艺研究

    2.1材料制备技术

    2.1.1机械剥离法

    2.1.2化学气相沉积法

    2.1.3溶液法

    2.2器件结构设计

    2.2.1沟道结构设计

    2.2.2栅极结构设计

    2.3制备工艺优化

    2.3.1薄膜生长

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