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2025至2030电子束曝光系统（EBL）行业市场深度分析及发展规划及有效策略与实施路径评估报告
目录
TOC\o1-3\h\z\u一、 2
1、行业现状分析 2
2、竞争格局分析 2
国内厂商：上海微电子（6%份额）、中科科仪加速国产替代 2
3、技术发展前沿 3
核心瓶颈：高亮度电子枪进口依赖、抗蚀剂灵敏度不足 3
二、 5
1、市场数据深度分析 5
进出口数据：2025年氦气冷却部件进口替代率不足15% 5
2、政策环境评估 6
国家支持：“十四五”专项投入47亿元，攻关电子光学系统 6
地方配套：粤港澳大湾
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