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离子注入工标准化作业考核试卷及答案

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离子注入工标准化作业考核试卷及答案

考生姓名：答题日期：判卷人：得分：

题型

单项选择题

多选题

填空题

判断题

主观题

案例题

得分

本次考核旨在评估学员对离子注入工标准化作业的掌握程度，检验其在实际操作中能否按照标准流程执行，确保工作质量与安全。

一、单项选择题（本题共30小题，每小题0.5分，共15分，在每小题给出的四个选项中，只有一项是符合题目要求的）

1.离子注入工艺中，用于加速离子的装置称为（）。

A.加速器

B.离子源

C.注入器

D.真空系统

2.离子注入前，首先要保证的是（）。

A.离子源清洁

B.工作环境温度适宜

C.真空度达到要求

D.注入设备稳定

3.离子注入过程中，为了防止离子与气体分子发生碰撞，通常需要保持（）。

A.真空度较高

B.温度较高

C.电流较小

D.电压较低

4.离子注入时，离子束的束流密度通常以（）表示。

A.离子数/秒

B.离子数/平方厘米

C.离子数/平方毫米

D.离子数/立方厘米

5.离子注入工艺中，用于调整离子能量的装置是（）。

A.能量控制器

B.注入控制器

C.能量调节器

D.注入调节器

6.离子注入过程中，为了减少离子散射，通常采用（）。

A.低温环境

B.高压环境

C.高速注入

D.高纯度气体

7.离子注入后，需要对注入层进行（）。

A.热处理

B.化学处理

C.真空处理

D.机械处理

8.离子注入工艺中，用于测量离子束流密度的仪器是（）。

A.离子计

B.真空计

C.温度计

D.电流计

9.离子注入过程中，为了提高注入效率，通常采用（）。

A.低压注入

B.高压注入

C.低温注入

D.高速注入

10.离子注入工艺中，用于调整离子束方向的装置是（）。

A.旋转装置

B.平移装置

C.调节装置

D.控制装置

11.离子注入过程中，为了减少离子束的损伤，通常采用（）。

A.低压注入

B.高压注入

C.低温注入

D.高速注入

12.离子注入工艺中，用于检测离子束能量的仪器是（）。

A.能量计

B.真空计

C.温度计

D.电流计

13.离子注入过程中，为了提高注入均匀性，通常采用（）。

A.旋转靶材

B.平移靶材

C.调节束流

D.调节电压

14.离子注入工艺中，用于防止离子束散射的装置是（）。

A.真空系统

B.注入器

C.离子源

D.加速器

15.离子注入后，需要对靶材进行（）。

A.热处理

B.化学处理

C.真空处理

D.机械处理

16.离子注入工艺中，用于控制离子束流方向的装置是（）。

A.旋转装置

B.平移装置

C.调节装置

D.控制装置

17.离子注入过程中，为了减少离子束的损伤，通常采用（）。

A.低压注入

B.高压注入

C.低温注入

D.高速注入

18.离子注入工艺中，用于检测离子束能量的仪器是（）。

A.能量计

B.真空计

C.温度计

D.电流计

19.离子注入过程中，为了提高注入均匀性，通常采用（）。

A.旋转靶材

B.平移靶材

C.调节束流

D.调节电压

20.离子注入工艺中，用于防止离子束散射的装置是（）。

A.真空系统

B.注入器

C.离子源

D.加速器

21.离子注入后，需要对靶材进行（）。

A.热处理

B.化学处理

C.真空处理

D.机械处理

22.离子注入工艺中，用于控制离子束流方向的装置是（）。

A.旋转装置

B.平移装置

C.调节装置

D.控制装置

23.离子注入过程中，为了减少离子束的损伤，通常采用（）。

A.低压注入

B.高压注入

C.低温注入

D.高速注入

24.离子注入工艺中，用于检测离子束能量的仪器是（）。

A.能量计

B.真空计

C.温度计

D.电流计

25.离子注入过程中，为了提高注入均匀性，通常采用（）。

A.旋转靶材

B.平移靶材

C.调节束流

D.调节电压

26.离子注入工艺中，用于防止离子束散射的装置是（）。

A.真空系统

B.注入器

C.离子源

D.加速器

27.离子注入后，需要对靶材进行（）。

A.热处理

B.化学处理

C.真空处理

D.机械处理

28.离子注入工艺中，用于控制离子束流方向的装置是（）。

A.旋转装置

B.