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集成电路高端制造项目节能评估报告
目录TOC\o1-4\z\u
一、项目概况与建设背景 3
二、项目工艺流程及设备配置 4
三、主要能源消耗现状分析 6
四、用电负荷及峰谷分布分析 8
五、用水及循环利用情况分析 9
六、关键生产环节能源消耗分析 11
七、动力系统能效及优化空间 13
八、空调与洁净室能耗分析 14
九、照明及辅助设施能效分析 16
十、压缩空气及气体系统节能分析 18
十一、废热回收与余能利用方案 20
十二、能源管理体系现状评估 22
十三、能源监测与数据分析方法 23
十四、节能技术及改造潜力分析
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