基于FDTD方法的点衍射理论建模与特性分析研究.docx

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2025-09-20 发布于上海
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基于FDTD方法的点衍射理论建模与特性分析研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，点衍射理论作为一项重要的基础理论，在光学测量、成像等多个关键领域都发挥着举足轻重的作用。从光学测量的角度来看，点衍射干涉术凭借其高精度的特性，成为了测量物体表面微观结构和形貌的有力工具。它利用点衍射源产生的参考波与被测波相互干涉，通过对干涉条纹的精确分析，能够实现对物体表面微小起伏和缺陷的精准检测，这对于光学元件的制造质量把控、微观结构的研究等具有不可替代的价值。例如在半导体光刻技术中，需要对光刻掩模的表面形貌进行高精度测量，点衍射干涉术就可以检测出掩模表面纳米级别的缺陷，从而保障光刻工艺的准确性