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砷化镓光导开关的制作工艺.docx

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    摘要

    光导开关（Photoconductivesemiconductorswitches-PCSS）是通过光控制导通和关断的半导体开关。因为光导开关具有响应速度快（ps量级）、高功率密度（MW量级）、触发抖动低（ps量级）、体积小、抗电磁干扰能力强、易集成等优点，在拒止武器、冲激雷达、大电流点火装置、高功率微波系统、THz技术、精密时间同步、瞬态测试、电磁干扰和攻击系统等领域有广泛的应用前景。

    光导开关的第一代半导体材料是硅，由于它的电子迁移率较小、禁带宽度较低，限制了在大功率和高频领域的应用。第二代半导体材料是砷化镓，它的电子迁移率很高，是做高速高频光导开关的首选，制作工艺已十分成熟

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