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2025《ZnO薄膜的研究》4100字.docx

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    ZnO薄膜的研究综述

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    TOC\o1-3\h\u25335ZnO薄膜的研究综述 1

    63841.1ZnO薄膜的制备方法 1

    7881.1.1原子层沉积法 1

    146381.1.2多层溶胶-凝胶法 2

    120971.1.3等离子体辅助反应蒸发法（PARE） 3

    251061.2ZnO薄膜的特性 4

    122711.1.1晶体结构 5

    253681.1.2光电特性 6

    174871.1.3气敏特性 7

    本征氧化锌是一种宽带隙（3.2eV）n型氧化物半导体材料，激子束缚（60meV）能比其他相同带隙的材料高的氧化物半

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