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講座
蒸着技術(II)
村山洋一*
(昭和42年10月2目受理)
前稿では,蒸着薄膜の生成過程を物理的に考察したそれぞれに特徴をもっており,一概にどちらがよいと
が,今回は蒸着技術について述べる.もっとも蒸着技術いうことを断定することはできない.ともに排気速度の
の非常に高度
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