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离子溅射仪（ETD-900C）用户手册.pdf

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    ETD-900C型离子溅射仪使用说明书

    目录

    一、离子溅射仪的工作原理和组成

    二、离子溅射仪的一般操作步骤

    三、基本参数

    四、经验分享

    五、蒸发机箱示意图及说明

    六、蒸发镀膜一般操作步骤

    七、蒸发部件基本参数

    1

    一.离子溅射仪的工作原理和组成（参考图1）

    离子溅射仪的工作原理是在一个较低真空的腔体内，在负电极和正电极之间加载几百

    伏特以上的电压，产生辉光放电，在电场的作用

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