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半导体的掺杂原理与技术
李文南京大学
作者简介：李文，来自南京大学化学化工学院，学号为
171870585.
摘要：半导体的掺杂是指将一定数量和一定种类的杂质掺入
等半导体中，并获得精确的杂质分布形状的技术。掺杂对
于半导体工业有着举足轻重的作用，是实现p型和n型半导
体的重要途径。目前的主要掺杂技术有热扩散技术和离子注
入技术。本文将简要介绍这两种技术的掺杂原理和部分操作
技术。
关键词：半导体掺杂
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