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微机电集成式光纤准直器自对准系统设计.docx

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    微机电集成式光纤准直器自对准系统设计

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、系统总体设计 3

    1、设计目标与性能指标 3

    高精度自对准要求 3

    系统稳定性与可靠性指标 4

    2、系统架构设计 5

    执行器集成方案 5

    光纤耦合光学路径设计 6

    二、关键技术与实现方法 8

    1、MEMS驱动与控制技术 8

    静电驱动原理与参数优化 8

    闭环反馈控制算法设计 9

    2、光学对准检测技术 10

    基于图像处理的定位方法 10

    光功率监测与反馈机制 11

    三、机械结构与封装设计 11

    1、微结构集成方案 11

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