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基于微纳加工的光电鼠标透镜制造工艺前沿探索.docx

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    基于微纳加工的光电鼠标透镜制造工艺前沿探索

    目录

    TOC\o1-3\h\z\u一、微纳加工技术概述 3

    1、微纳加工技术分类与特点 3

    光刻技术原理及其应用范围 3

    电子束与离子束加工技术优势 5

    2、微纳加工在光学器件制造中的应用 6

    微结构光学元件加工工艺 6

    纳米级精度表面处理技术 7

    二、光电鼠标透镜设计要求 8

    1、光学性能参数标准 8

    透光率与折射率要求 8

    像差控制与分辨率指标 9

    2、结构设计与功能实现 11

    微型化透镜结构设计要点 11

    多点光学传感适配方案 12

    三、制造工艺关

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