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SJTU微纳加工与测试平台 超净实验室使用规范 200 m²（百级室+千级室） 用户手册.pdf

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    微纳加工与测试平台

    超净实验室使用规范与安全须知

    2

    微纳加工与测试平台（简称平台）一期建设超净室面积约200m（百级室+千级

    室），主要由紫外光刻室、电镜室、镀膜刻蚀室、性质表征室构成。根据用户在平

    台的使用情况，超净室使用规范与安全须知如下：

    1.用户须经实验室安全培训和超净室安全培训后，方可独立进入超净实验室。

    对于平台有使用需求的科研人员，经课题组负责人同意后可向

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