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化合物半导体的外延生长设备项目风险分析和评估报告.docx

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    化合物半导体的外延生长设备项目风险分析和评估报告

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    化合物半导体的外延生长设备项目风险分析和评估报告

    目录

    TOC\o1-9概论 3

    一、定性、定量安全评价 3

    (一)、安全管理单元 3

    (二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 5

    (三)、生产单元 6

    (四)、公用工程及辅助设施单元 9

    二、事故原因分析及事故后果预测 13

    (一)、事故案例及原因分析 13

    (二)、事故后果预测 14

    三、危险、有害因素的辨识与分析 15

    (一)、辨识与分析危险、有害因素的依据 15

    (二)、主要危险、有害物质分析 16

    (三)、生产过程中危

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