未来芯片产业:二维半导体材料在逻辑芯片领域的应用挑战与机遇.docx

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未来芯片产业:二维半导体材料在逻辑芯片领域的应用挑战与机遇参考模板

一、未来芯片产业:二维半导体材料在逻辑芯片领域的应用挑战与机遇

1.二维半导体材料的制备工艺

1.1制备工艺挑战

1.1.1生长条件控制

1.1.2制备效率与成本

1.1.3材料一致性

1.1.4缺陷控制

1.1.5制备与集成兼容性

1.1.6环境友好性

1.2器件结构设计优化

1.2.1高迁移率特性

1.2.2电子性能稳定性

1.2.3与现有工艺兼容性

1.2.4器件结构稳定性

1.2.5器件结构可靠性

1.2.6器件结构性能提升

1.2.7应变工程

1.2.8复合结构设计

1.2.9纳米

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