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未来芯片产业:二维半导体材料在逻辑芯片领域的应用挑战与机遇参考模板
一、未来芯片产业:二维半导体材料在逻辑芯片领域的应用挑战与机遇
1.二维半导体材料的制备工艺
1.1制备工艺挑战
1.1.1生长条件控制
1.1.2制备效率与成本
1.1.3材料一致性
1.1.4缺陷控制
1.1.5制备与集成兼容性
1.1.6环境友好性
1.2器件结构设计优化
1.2.1高迁移率特性
1.2.2电子性能稳定性
1.2.3与现有工艺兼容性
1.2.4器件结构稳定性
1.2.5器件结构可靠性
1.2.6器件结构性能提升
1.2.7应变工程
1.2.8复合结构设计
1.2.9纳米
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