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中国半导体设备国产化率提升路径与技术突破研究(2025)模板
一、中国半导体设备国产化率提升路径与技术突破研究(2025)
1.1.国产化率现状
1.2.提升路径
1.2.1加大政策支持力度
1.2.2优化产业链布局
1.2.3培养专业人才
1.2.4加强国际合作
1.3.技术突破
1.3.1光刻机技术
1.3.2刻蚀机技术
1.3.3离子注入机技术
1.3.4测试设备技术
二、半导体设备国产化率提升的关键技术分析
2.1.关键技术的重要性
2.1.1光刻机技术
2.1.2刻蚀机技术
2.1.3离子注入机技术
2.2.技术突破路径
2.2.1加强基础研究
2.
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