实施指南《GB_T14146-2021硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法》实施指南.docxVIP

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2025-08-04 发布于云南
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实施指南《GB_T14146-2021硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法》实施指南.docx

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《GB/T14146-2021硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法》实施指南

一、从实验室到产线：电容-电压法如何重塑硅外延层载流子浓度测试精度？专家视角解读标准核心价值与未来五年应用趋势

（一）硅外延层质量检测的行业痛点：传统测试方法为何难以满足先进制程需求？

在半导体产业向7nm及以下制程迈进的过程中，硅外延层的载流子浓度均匀性直接影响器件性能。传统四探针法虽操作简便，但受限于接触式测量的特性，易造成样品损伤且空间分辨率不足。而深能级瞬态谱等方法虽精度较高，却因设备昂贵、测试周期长，难以适应量产场景的高效检测需求。GB/T14146-2021选择电容-电压法