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半导体设备研发2025年技术专利分析与应用前景范文参考
一、半导体设备研发2025年技术专利分析与应用前景
1.1.技术专利概述
1.2.专利技术分类
1.2.1制造设备
1.2.2检测设备
1.2.3封装设备
1.2.4测试设备
1.3.技术专利发展趋势
1.3.1高性能化
1.3.2智能化
1.3.3绿色环保
1.3.4国产化
1.4.技术专利应用前景
二、半导体设备研发关键技术分析
2.1.光刻机技术
2.2.蚀刻设备技术
2.3.化学气相沉积(CVD)设备技术
2.4.物理气相沉积(PVD)设备技术
三、半导体设备研发专利申请趋势及分析
3.1.专利申请数量增长
3.2
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