精密空调机组性能测试方法 编制说明.docx

《精密温控机组技术规范》编制说明

（征求意见稿）

一、工作简况（包括任务来源、制定背景、起草过程等）

1任务来源

【编制依据】2024年12月31日国家标准化管理委员会下达了关于修订国家标准《精密空调机组性能测试方法》的公告（国标委发[2024]60号），项目计划号T-604。

【项目概况】计划项目名称：精密空调机组性能测试方法；项目周期：16个月；计划下达时的主要起草单位：合肥通用机电产品检测院有限公司等。

2制定背景

在半导体加工、超精密机械/光学加工、微纳坐标测量等超精密加工领域，常采用热污染控制技术消除测量与加工过程中的热致误差，热污染控制技术是相关尖端装备实现亚微米、纳米级精度的必要保障。美国劳伦斯实验室在统计了大量涉及精密加工的项目后得出结论：在精密加工领域，热污染是最大的单一误差来源。国内也有相关研究表明：在超精密加工过程中，热污染导致的误差占总加工误差的40%-70%。对于以光刻机为代表的大型复杂超精密装备而言，内部各种类型的热污染均会影响其极端设计精度的实现，具体一般包括：（1）电磁执行机构无用功产生的热量，如各类型电机、磁浮机构等；（2）零部件相对运动摩擦产生的热量，如各类机械轴承、摩擦导轨等；（3）各类电路中部分电子元器件产生的热量，如电压转换芯片、功率三极管等；（4）激光光源发热、光束能量被光学元件吸收产生的热量，如各类激光器，透镜等等。这些热污染通过热传导、对流、辐射的方式扩散到装备的各个部件中，在装备内部的空间维度上形成温度场分布，在时间维度上产生温度波动、漂移，从而导致装备的温度敏感部件产生热变形、热漂移。所有热污染集中体现为产品的不良率或测量结果中的误差，限制了超精密测量/制造装备设计功能、精度的实现。

超精密热污染控制技术成为超精密制造装备的核心关键技术之一，且超精密热污染控制技术的使用场景与常规环控系统有较大区别。随着国际环境变化和科技竞争加剧，设备进口采购风险难以把控，严重影响到我国精密制造装备产业核心竞争力，不利于我国核心技术自主可控，迫切需要补齐产业短板、解决“卡脖子”国产化替代问题。目前该领域国内标准更是处于空白状态，限制了相关产业的发展，亟需制定相关产品标准。

3主要工作过程

起草阶段：计划任务下达后，在冷标委和体标委秘书处的共同组织下，成立了以合肥通用机电产品检测院有限公司为牵头单位的标准起草工作组，并开始着手标准的起草工作。标准起草组通过大量的文献检索、调研，总结分析了国内外相关产品的现状及技术特点，考虑生产制造和技术水平，系统地掌握了精密温控机组的用户侧需求。根据编制的标准与国家标准体系协调一致的原则，并体现科学实用，便于实施的特点，讨论确定了标准的基本结构和编制原则。2025年6月4日，由全国冷标委秘书处组织在合肥召开了标准的第一次行业研讨会。会议就标准的主要内容进行了深入细致的讨论，会后起草组依据讨论的结果，对标准稿件做了进一步的修改完善，并形成正式的征求意见稿，经组长审核后提交冷标委秘书处。

二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据（修订国家标准时，还包括修订前后技术内容的比对）

1标准编制原则

本标准修订过程中遵循以下原则：

（1）本标准在结构编写和内容编排等方面依据GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》进行编制。

（2）本标准在制定过程中遵循“面向市场、服务产业、自主制定、适时推出”的原则，标准制定与技术创新、试验验证、产业推进、应用推广相结合，统筹推进。

（3）标准制定既要考虑与国际接轨，同时也应充分反映国内产业的发展水平和技术现状，既要使标准规定的技术要求符合用户需求，保护消费者利益,同时还要使试验方法具有较强的可操作性，便于实施落地。

2、标准主要内容

2.1适用范围

本文件规定了精密温控机组（以下简称“机组”）的术语和定义、分类和测试方法。

本文件适用于在特定空间内精确维持环境温度或湿度稳定，控制空气温度波动范围不大于±0.3℃、相对湿度不大于±2%或控制液体温度波动范围不大于±0.3℃的机组。

2.2术语和定义

本文件给出了“精密温控机组”、“控制精度”、“抗负载冲击能力”、“温度稳定性”等术语和定义。

2.3型式

2.3.1按机组的控制对象分为：

——控制对象为空气：环控型；

——控制对象为液体：冷却水型。

2.3.2按机组的热源侧冷却方式分为：

——风冷型；

——水冷型。

2.2.3按机组的控制精度分为：

——精密型；

——高精密型；

——超精密型。

2.4基本参数

各类型机组性能试验的标准工况按表1-表2的规定。

表1环控型机组性能试验工况