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半导体设备国产化2025年维护技术绿色制造与节能减排策略
一、半导体设备国产化2025年维护技术绿色制造与节能减排策略
1.1技术发展趋势
1.1.1绿色制造技术
1.1.2节能减排技术
1.2技术创新与应用
1.2.1研发新型环保材料
1.2.2优化设备设计
1.2.3推广应用节能设备
1.3政策支持与产业协同
1.3.1政策支持
1.3.2产业协同
二、半导体设备国产化关键技术研究与应用
2.1关键技术研究方向
2.1.1精密加工技术
2.1.2半导体材料研发
2.1.3微电子封装技术
2.2技术研发现状
2.2.1精密加工技术
2.2.2半导体材料研发
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