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2025年分步重复光刻机项目发展计划.docx

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    分步重复光刻机项目发展计划

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    分步重复光刻机项目发展计划

    目录

    TOC\o1-9概论 4

    一、分步重复光刻机项目建设地分析 4

    (一)、分步重复光刻机项目选址原则 4

    (二)、分步重复光刻机项目选址 5

    (三)、建设条件分析 6

    (四)、用地控制指标 7

    (五)、用地总体要求 8

    (六)、节约用地措施 9

    (七)、总图布置方案 11

    (八)、运输组成 13

    (九)、选址综合评价 16

    二、背景和必要性研究 16

    (一)、分步重复光刻机项目承办单位背景分析 16

    (二)、分步重复光刻机项目背景分析 18

    三、工程设计说明 19

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