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2025年分步重复光刻机项目合作计划书.docx

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    分步重复光刻机项目合作计划书

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    分步重复光刻机项目合作计划书

    目录

    TOC\o1-9序言 4

    一、后期运营与管理 4

    (一)、分步重复光刻机项目运营管理机制 4

    (二)、人员培训与知识转移 5

    (三)、设备维护与保养 6

    (四)、定期检查与评估 6

    二、工艺先进性 7

    (一)、分步重复光刻机项目建设期的原辅材料保障 7

    (二)、分步重复光刻机项目运营期的原辅材料采购与管理 8

    (三)、技术管理的独特特色 9

    (四)、分步重复光刻机项目工艺技术设计方案 11

    (五)、设备选型的智能化方案 12

    三、分步重复光刻机项目概论 14

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