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电子行业光刻机国产化迫在眉睫，关注产业链投资机会.docx

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    光刻机：工业皇冠上的明珠 5

    光刻是芯片制造的关键工艺，光刻机是核心设备 5

    掩膜光刻和直写光刻各有不同应用，投影式光刻逐渐替代接触/接近式 5

    提升光刻机分辨率路径：更短波长、增大数值孔径 7

    全球市场规模超300亿美金，ASML一家独大 9

    美对华加大半导体技术封锁，光刻机自主可控迫在眉睫 11

    国内晶圆制造产业加速扩张，光刻机需求持续增长 11

    美国加大对华半导体出口管制，光刻机国产化迫在眉睫 14

    光刻机主要由照明光学模组、投影物镜模组、晶圆平台模组构成 15

    照明光学模组 15

    投影物镜模组 17

    晶圆模组 18

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