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2025《SAW气体传感器仿真特性研究概述》1900字.docx

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    SAW气体传感器仿真特性研究概述

    1.1SAW气体传感器介绍

    声表面波气体传感器（SAWGASSENSOR）是用来研究SAW气体传感器的共振频率。传感器由蚀刻到压电LiNbO3上的叉指式换能器和铌酸锂基材组成，并覆盖一层薄的聚异丁烯（PIB）膜。质量PIB膜的膜厚随着PIB从空中选择性吸附CH2Cl2（二氯甲烷，DCM）而增加。而这会导致共振偏移，从而稍微降低相同SAW模式的共振频率。图3-1显示了此模型中气体传感器的概念图。图中的结构要素为IDT电极（黑色），PIB薄膜（浅灰色）和LiNbO3衬底（深灰色）。为了较为清楚的观察，器件尺寸不按比例缩放，器件的IDT电极比普通设备数量要少

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