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洁净室基础知识培训课件20XX汇报人：xx

目录0102030405洁净室概念介绍洁净室的环境要求洁净室的结构组成洁净室的维护与管理洁净室的认证与标准洁净室的案例分析06

洁净室概念介绍PARTONE

定义与分类洁净室是通过控制空气中的微粒、温度、湿度等环境参数，以达到特定洁净度要求的房间。洁净室的定义洁净室按用途可分为电子制造、生物技术、医药生产等，不同用途对洁净度和环境控制有不同要求。按用途分类洁净室根据ISO标准分为不同等级，如ISO1至ISO9，等级越高，空气中的微粒数量越少。按洁净度等级分类010203

应用领域洁净室在半导体制造中至关重要，用于防止微粒污染，确保芯片生产过程的纯净度。半导体制造精密仪器如光学镜片、传感器等的生产需要在洁净室中进行，以避免灰尘和杂质影响产品质量。精密仪器制造生物医药实验室使用洁净室来维持无菌环境，进行药品研发和临床试验。生物医药研发

设计原则洁净室设计时应尽量减少人员和设备产生的污染，如采用自动化设备减少人员接触。01最小化污染源洁净室必须配备高效空气过滤系统，确保空气中的微粒和微生物被有效去除。02高效空气过滤系统通过维持洁净室内部相对于外部的正压，防止外部污染空气的渗入。03正压维持选择合适的建筑材料和表面处理方式，以减少颗粒物的产生和积聚。04材料和表面处理洁净室应根据洁净度要求进行严格分区，不同区域间应有明确的隔离措施。05严格分区管理

洁净室的环境要求PARTTWO

空气洁净度等级洁净室的空气洁净度等级按照ISO14644标准划分，从ISO1至ISO9，数字越小洁净度越高。洁净度等级标准01洁净室需严格控制空气中的颗粒物数量，以满足不同等级的洁净度要求，保证产品质量。洁净室的颗粒物控制02除了颗粒物，洁净室还需控制微生物如细菌和真菌的数量，以达到相应的洁净度等级标准。洁净室的微生物控制03

温湿度控制洁净室需维持恒定温度，如半导体制造要求温度波动不超过±0.5℃，以保证工艺精度。温度的稳定性安装高精度的温湿度传感器和监控系统，实时监测并记录数据，确保环境参数符合标准。温湿度监测系统控制湿度在规定范围内，例如制药洁净室湿度需保持在45%-65%，避免药品受潮或干燥。湿度的精确控制

静电与微粒控制01在洁净室中，使用抗静电材料和接地技术来减少静电的产生，防止静电对敏感设备的影响。02采用高效空气过滤器（HEPA）和超高效空气过滤器（ULPA）来捕获和去除空气中的微小颗粒。03在洁净室内设置静电放电区域，使用防静电腕带、工作服和防静电地板等，以保护电子组件免受损害。静电控制措施微粒过滤系统静电放电（ESD）防护

洁净室的结构组成PARTTHREE

墙体与天花板洁净室墙体通常采用不易产生尘埃的材料，如不锈钢或特殊涂层的钢板，以保证室内空气质量。洁净室墙体材料墙体连接处需进行密封处理，防止空气和微粒渗透，确保洁净室的洁净度。墙体的密封性天花板多采用可拆卸的模块化设计，便于清洁和维护，同时要保证其良好的气密性和防尘性能。天花板的构造天花板集成了洁净室的照明系统和高效过滤器，确保提供均匀的照明和持续的空气流通。天花板的照明与通风

地面与门窗地面通常采用无缝、易清洁的材料，如环氧树脂，以减少微粒和微生物的积聚。洁净室地面材料门窗需采用特殊密封技术，如气密门和双层玻璃窗，以维持洁净室内的正压和洁净度。门窗密封技术洁净室内的地面可能配备防静电地板，以防止静电积累，保护敏感的电子设备和产品。防静电地板

送风与回风系统送风系统的作用送风系统负责将经过过滤的空气送入洁净室，维持室内正压，确保空气洁净度。0102回风系统的功能回风系统将室内空气回收，经过过滤后再次送入洁净室，形成循环，提高能源效率。03高效过滤器的应用在送风系统中使用高效过滤器，可以有效去除空气中的微粒，保证洁净室的空气质量。04风速与风量控制通过调节送风和回风的风速与风量，可以精确控制洁净室内的气流模式和压力梯度。

洁净室的维护与管理PARTFOUR

清洁与消毒洁净室需每日进行严格清洁，使用无尘布和专用清洁剂，确保无尘埃和微生物残留。日常清洁程序0102定期使用消毒剂对洁净室内的设备和表面进行消毒，以防止细菌和病毒的滋生。定期消毒措施03清洁工具应专用并定期更换，避免交叉污染，确保洁净室的卫生标准得到维持。清洁工具的管理

监测与测试定期测试洁净室内的温度和湿度，确保其维持在适宜的范围内，以保护敏感设备和产品。通过监测洁净室与外界的压差，保证洁净室的正压，防止污染空气进入。洁净室需定期进行空气质量检测，确保空气中的微粒和微生物含量符合标准。定期空气质量检测压力差监测温湿度控制测试

故障排除与维护为确保洁净室空气质量，应定期检查高效过滤器，及时更换损坏或效能下降的过滤器。定期检查过滤系统制定并执行严格的清洁和消毒程序，包