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半导体产业绿色制造与节能减排技术发展报告.docx

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    半导体产业绿色制造与节能减排技术发展报告范文参考

    一、半导体产业绿色制造与节能减排技术发展概述

    1.1.产业背景

    1.2.政策支持

    1.3.技术创新

    1.3.1清洁生产技术

    1.3.2能源管理技术

    1.3.3废弃物处理技术

    1.4.产业应用

    二、半导体产业绿色制造关键技术与案例分析

    2.1清洁生产技术

    2.1.1无铅焊接技术

    2.1.2等离子体刻蚀技术

    2.1.3微电子湿法处理技术

    2.2能源管理技术

    2.2.1智能能源管理系统

    2.2.2太阳能光伏发电

    2.2.3能源回收系统

    2.3废弃物处理技术

    2.3.1化学废弃物处理

    2.3.2固体废弃物资源化

    2.3.3

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