企业管理- SRAM（静态随机存取存储器）生产工艺流程.doc

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企业管理-SRAM（静态随机存取存储器）生产工艺流程

SRAM（静态随机存取存储器）是一种利用双稳态电路存储数据的半导体存储器，具有高速读写、无需刷新等特点。以下是SRAM的典型生产工艺流程，涵盖从晶圆制备到封装测试的主要环节：

一、晶圆制备

1.硅片清洗

去除硅片表面的污染物（如颗粒、有机物、金属离子等），通常使用化学清洗液（如SC1、SC2溶液）和去离子水。

2.氧化层生长

通过热氧化工艺在硅片表面生长一层薄氧化层（如SiO?），作为后续工艺的绝缘层或掩膜层。

二、前端工艺（FEOL，FrontEndofLine）

1.器件结构制备

阱区注入（We

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