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半导体材料国产化2025年产业生态构建与技术创新研究报告.docx

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    半导体材料国产化2025年产业生态构建与技术创新研究报告

    一、产业发展背景

    1.1政策支持

    1.2产业链布局

    1.3创新能力

    二、产业生态构建现状

    1.1政策支持

    1.2产业链布局

    1.3创新能力

    三、技术创新路径

    1.1基础研究

    1.2关键技术研发

    1.3产学研合作

    1.4人才培养

    1.5国际合作

    四、关键技术创新路径

    2.1关键材料技术创新

    2.1.1半导体硅材料

    2.1.2化合物半导体材料

    2.1.3先进封装材料

    2.2关键工艺技术创新

    2.2.1晶圆制造工艺

    2.2.2光刻技术

    2.2.3蚀刻技术

    2.3关键设备技术创新

    2.3.1半导体设备

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