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探索2025年：半导体设备研发技术路线选择与行业应用创新.docx

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    探索2025年：半导体设备研发技术路线选择与行业应用创新范文参考

    一、探索2025年：半导体设备研发技术路线选择与行业应用创新

    1.半导体设备研发技术路线选择

    1.1全球发展趋势

    1.2我国技术路线选择

    1.2.1光刻技术

    1.2.2刻蚀技术

    1.2.3沉积技术

    1.3关键设备研发进展

    1.3.1光刻机

    1.3.2刻蚀机

    1.3.3清洗设备

    1.4行业应用创新趋势

    1.4.1高性能计算

    1.4.2物联网

    1.4.3人工智能

    二、半导体设备研发技术路线的全球趋势与我国挑战

    2.1全球半导体设备研发技术趋势

    2.1.1集成化与自动化

    2.1.2智能化与网络化

    2.

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